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濺射機降低Paticle的新工藝

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PA(Particle-Anchor)是一種經過特殊表面加工的Cu(Ni)箔,能有效抑制鍍膜設備內Particle的發生。鍍膜過程中設備內的相關部件也會被附著膜物質,膜變厚時的脫落風險極高。為了防止膜脫落而造成的污染,我公司研發了該產品(PA)。把PA貼合在設備內的相關部件(Mask、Shield等)表面即可獲得如下的效果。
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