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濺射機(jī)降低Paticle的新工藝

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PA(Particle-Anchor)是一種經(jīng)過(guò)特殊表面加工的Cu(Ni)箔,能有效抑制鍍膜設(shè)備內(nèi)Particle的發(fā)生。鍍膜過(guò)程中設(shè)備內(nèi)的相關(guān)部件也會(huì)被附著膜物質(zhì),膜變厚時(shí)的脫落風(fēng)險(xiǎn)極高。為了防止膜脫落而造成的污染,我公司研發(fā)了該產(chǎn)品(PA)。把PA貼合在設(shè)備內(nèi)的相關(guān)部件(Mask、Shield等)表面即可獲得如下的效果。
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